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產(chǎn)品名稱: 愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-02-09
產(chǎn)品型號: PRC003A PRC006A PRC012A
產(chǎn)品特點(diǎn): 羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導(dǎo)體、液晶制造使用設(shè)計(jì)的羅茨泵。可以選擇大氣驅(qū)動(dòng)型。愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修

愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修 的詳細(xì)介紹

羅茨泵
PRC 系列

 

羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導(dǎo)體、液晶制造使用設(shè)計(jì)的羅茨泵?？梢赃x擇大氣驅(qū)動(dòng)型。


愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修?

特點(diǎn)

  • 無油
    泵殼室無潤滑油，水蒸氣、溶劑等的蒸汽穩(wěn)定。
  • 采用罐式馬達(dá)
    采用罐式馬達(dá)、可以沒有大氣壓/真空的機(jī)械。不用擔(dān)心漏油、可以在清潔的環(huán)境中使用。
  • 耐腐蝕性優(yōu)異的表面處理
    主要部品表面實(shí)施了硬度高耐腐蝕性優(yōu)異的耐酸鋁處理、抑制了泵內(nèi)部的腐蝕傷害。
  • 排氣時(shí)間縮短有效的大氣壓驅(qū)動(dòng)型（選項(xiàng)：變換器）
    可以和粗制泵同時(shí)啟動(dòng)，比標(biāo)準(zhǔn)型的排氣時(shí)間更短。愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修?

用途

  • 蒸著、濺射、離子電鍍
  • 真空干燥、凍結(jié)干燥、真空脫氣
  • 分析機(jī)器、檢漏裝置
  • 氣體置換、充填、真空斷熱
  • 熱處理爐、溶解爐
  • 其他各種真空裝置
  • 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟
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    日本愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修PRC003A PRC006A PRC012A         PRC018A

式樣

型式

PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
大排氣速度50Hzm3/h(L/min)280（4670）500（8330）1000（16700）1500（25000）
60Hz330（5500）600（10000）1200（20000）1800（30000）
大吸入壓力50HzPa1.2 x 1031.3 x 1031.2 x 103
60Hz9.3 x 1021.1 x 1039.3 x 102
大容許壓力差50HzPa4.0 x 1037.3 x 1034.3 x 103
60Hz3.3 x 1036.0 x 1033.2 x 103
到達(dá)壓力  *1Pa4.0 x 10-16.7 x 10-1
驅(qū)動(dòng)可能圧力Pa?1.0 x 105（大氣壓驅(qū)動(dòng)型）
電機(jī)出力（極數(shù)）  *2kW0.75（2）2.2（2）3.7（2）5.5（2）
使用油　*3ULVOIL R-4
所要油量L0.71.51.9
冷卻方式水冷
冷卻水一時(shí)側(cè)圧力MPa0.3
出入口差圧MPa0.01以上
冷卻水量L/min23
冷卻水溫度  *4ºC5 ? 30
吸氣口徑　JIS-B-2290VG80相當(dāng)VG100相當(dāng)VG150相當(dāng)
排氣口徑　JIS-B-2290VF80相當(dāng)VF100相當(dāng)
外形尺寸（W×D×H）mm296×575×260356×619×320406×759×340406×989×340
質(zhì)量  *5kg5186118150
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵  *6VD601VD901VS1501VS2401
選項(xiàng)大氣壓驅(qū)動(dòng)（變換器）、潤滑油、潤滑室排氣端口
注)

本式樣表、采用SI單位系。非SI單位系的換算請參照如下。
到達(dá)壓力：4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 torr　圧力：0.05MPa = 0.5kgf/cm2
PRC 系列不能對應(yīng)耐圧防爆、安増防爆。

*1皮拉尼真空計(jì)測定（輔助泵、標(biāo)準(zhǔn)使用油）。麥克勞德真空計(jì)4.0×10-2Pa。
*2AC200V（50Hz/60Hz）、AC220V（60Hz）、3相
*3合成油選項(xiàng)：R-7000、氟油：可以選擇J25F。
*4冷卻水溫低時(shí)、請?jiān)诓唤Y(jié)露環(huán)境下使用。
*5標(biāo)準(zhǔn)泵的値。（選項(xiàng)：包含變換器）
*6羅茨泵的性能隨標(biāo)準(zhǔn)輔助泵的性能變化。上述數(shù)據(jù)是配合輔助泵時(shí)的值。

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