排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 3,000 |
氫氣 | 3,000 | ||
氬氣 | 2,500 | ||
水 | 9,000 | ||
到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(19) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.0×108(1.5×106) |
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *1 | ||
氫氣 | 2.4×106(1.8×104) *2 | ||
冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 45(60) | |
吸氣口法蘭 | 10BANSI | ||
質(zhì)量 | Kg | 39.0 |
*維護(hù)間隔:16,000小時(shí)
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達(dá)以下壓力時(shí)的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-TORR8維修?
排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 3,000 |
氫氣 | 3,000 | ||
氬氣 | 2,500 | ||
水 | 9,000 | ||
到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.7×103(19) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.0×108(1.5×106) |
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *1 | ||
氫氣 | 2.4×106(1.8×104) *2 | ||
冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 45(60) | |
吸氣口法蘭 | 10BANSI | ||
質(zhì)量 | Kg | 39.0 |
*維護(hù)間隔:16,000小時(shí)
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達(dá)以下壓力時(shí)的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 1,500 |
氫氣 | 2,500 | ||
氬氣 | 1,200 | ||
水 | 4,000 | ||
到達(dá)壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 1.0×108(7.6×105) |
氫氣 | 6.1×105(4.6×103) *1 | ||
氫氣 | 1.2×106(9.1×103) *2 | ||
冷卻降下時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 90(60) | |
吸氣口法蘭 | 6BANSI | ||
質(zhì)量 | Kg | 20.4 |
*維護(hù)間隔:16,000小時(shí)
*氫氣的排気容量是吸著平衡圧力到達(dá)以下壓力時(shí)的總排氣量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)
蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江
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常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋海門(mén)
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臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門(mén)泉州
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深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌
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贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊
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石家莊天津長(zhǎng)春吉林濟(jì)南青島威海德州
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連云港昆明九江安慶
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