高真空環(huán)境下測定，對真空計的精度(感度平衡，誤差等)和較短的壽命(測定子污垢，放電難等)有困惑嗎？ULVAC針對該愿望，開發(fā)了在嚴酷環(huán)境下長久，高精度測定的電離真空計。世界上三極管型金屬電離真空計，對運轉費大幅削減，過程布留率提高都有效果。
復合真空計G-TRAN系列特點
世界上三極管型金屬電離真空計
可以實現在惡劣環(huán)境下將 三極管的優(yōu)點大化，并實現長壽命的真空計測定精度的提高
實現測定精度±10％，感度穩(wěn)定性提升測定子的小型化?金屬制
不必擔心玻璃破損廣域測定
可以測定從大氣壓到高真空的領域（10+5Pa～10-5Pa）（SPU?SAU在同時使用的情況下）可以連接不同范圍的測定子
可以根據多離子規(guī)的用途來選擇測定子準確的大氣壓測定
可以容易且準確的確認大氣壓（在使用SAU的情況下）低環(huán)境負荷對應
在運行成本的減少下，可以替換必要的測定子燈絲使用壽命的通知功能
通過電源監(jiān)控，可以提前通知的燈絲壽命辨認性的提升
搭載一眼可以確認清楚真空計狀態(tài)的LED保養(yǎng)
容易更換測定子合適規(guī)格
CE標準對應
用途
有機EL、觸摸屏等的制造裝置到達壓力確認以及過程管理用真空爐等各種產業(yè)用真空裝置的到達壓力確認
碳化氫（油基）多的環(huán)境下測定
真空部品加工時的切削油及洗凈液殘留的環(huán)境下測定
為了降低真空計測定子的更換頻度真空裝置中用
※腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境下使用的場合請商談。
復合真空計G-TRAN系列規(guī)格
| 型號 | ST2-1 | ST2-2 | |
| 機種名 | 標準型 | 通訊型 | |
| 可以連接的傳感器 | 多離子規(guī)傳感器 ： 1套 皮拉尼真空計SPU ： 1套（可選） 壓力傳感器單元SAU ： 1套（可選） | ||
| 測定壓力范圍 | 1×10-5 ～ 1×10+1Pa | ||
| 測定精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±10% | ||
| 反復精度 | 1×10-4 ～ 3Pa : ±2％ | ||
| 取樣時間 | 50ms 5回的移動平均處理 | ||
| 測定值輸出 | 輸出電壓 DC 0 ～ 10V LOG輸出 0.75V/1數字 壓力換算公式 V＝7.25+0.75＊（LogP-2） P＝10^｛（V-7.25）/0.75+2｝ ＊兼有設定值調整用的輸出電壓(僅限ST2) | ||
| 更新時間 | 50msec | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 開路集電極輸入，負邏輯 | – | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設定值1/2/3、排放驅動器、 燈絲電力監(jiān)視 額定：24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V | – | |
| 串行通信規(guī)格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、錯誤LED FIL： B-A規(guī) 燈絲等狀態(tài)顯示 | ||
| SET1： 設定值1LED SET2： 設定值2LED SET3： 設定值3LED | – | ||
| 排放電流 | 2mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 電子轟擊方式、排放電流2mA、并網電壓約330V | ||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa（壓力） * 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮 | ||
| 傳感器內容積 | SWT-16 ： 17cm3 | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50oC | ||
| 使用濕度范圍 | 15?80%(無結露) | ||
| 保管溫度 | -20?65oC(當斷電時，無結露) | ||
| IP保護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC20?28V (紋波、噪聲低于1%) | ||
| 定常時約 | 8W、DEGAS時19W以下、接通電源時6A以下（4ms） | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺） | ||
| 本體質量控制器 | 約530g 測定子（SWT-16）： 80g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 約183.8×約75×約62.2mm | ||
| 適合規(guī)格 | CE | ||
| 選 項 | 多離子規(guī)傳感器 | SWT-16（NW16） 材質：燈絲 ： Ir/Y2O3コート PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍 | |
| 皮拉尼真空計 | SPU | ||
| 皮拉尼規(guī)傳感器 | WP-16（NW16） 材質 ： 燈絲Pt、其他Bs/Ni電鍍、Ni、焊接 壓力傳感器（NW16） 材質SUS316L | ||
| 單元電纜 | ST2 ～ SPU、ST2 ～ SAU顯示單元間的線纜 0.5m | ||
| 連接器 | 1CH： ISG1（DC24V電源使用） 4CH： IM1R1（DC24V電源使用）/IM2R1（AC100V電源使用） | ||
| 顯示單元電纜 | ST2 顯示單元件的電纜 2m、5m、10m、15m、20m | ||
| 連接器 | 輸入輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺） | ||
| 其他 | 檢查報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書 | ||
■ 各模式規(guī)格：SH2-1/SH2-2可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法
| 模式 | SH2-1/SH2-2 單體模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式 |
| 測定壓力范圍 | 5×10-8?1×10+1Pa | 5×10-8?1×10+4Pa | 5×10-8?1×10+5Pa |
| 測定精度 | 5×10-8?1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準溫度25oC) |
| 反復精度 | 1×10-6?1×10-1Pa： ±2% | ||
| 連接圖 (例) |  |  |  |
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