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產(chǎn)品名稱: 英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
產(chǎn)品時間: 2019-03-25
產(chǎn)品型號: iH600 iH1000
產(chǎn)品特點: Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修 的詳細介紹
英國愛德華EDWARDS晶圓半導體iH600干式真空泵維修
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
- 負載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優(yōu)勢
- 優(yōu)化了設施消耗。
- 無需預防性維護。
- 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
技術數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 極限功率輸入 | 3.4 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
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