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氦檢漏上門服務(wù)采用的氦檢漏試驗(yàn)裝置由氦質(zhì)譜檢漏儀、抽真空機(jī)組、真空表、壓力表等設(shè)備和儀器儀表所組成。氦質(zhì)譜儀主要有進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。

Edwards APG100 有源皮拉尼真空計(jì)包括標(biāo)準(zhǔn)型和防腐蝕型，測(cè)量范圍分別為從大氣壓到 10-3 或 10-4。這種真空計(jì)與所有 Edwards TIC 儀表控制器兼容，*符合 RoHS 指令。英國(guó)愛德華APG100 有源皮拉尼真空計(jì)